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如图4所示，集中未经处理的Cu表面存在大量氧化并黏附有机污染物，活化后表面有机污染物得以去除，同时在表面引入更多的-OH和-NH2结构。主要研究方向为晶圆键合、开工芯片异质集成与封装、医用新材料连接。

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